Sigray社のマイクロX線CT顕微鏡“Apex XCT”を発売
2022年1月25日
キヤノンマーケティングジャパン株式会社
キヤノンマーケティングジャパン株式会社（代表取締役社長：足立正親、以下キヤノンMJ）は、国内独占販売契約を締結しているSigray（シグレイ）社（Sigray, Inc.、本社：アメリカ合衆国カリフォルニア州コンコード市、CEO：Dr. Wenbing Yun）製のマイクロX線CT顕微鏡“Apex XCT（エイペックス エックスシーティー）”を2022年1月25日より発売します。
このたびキヤノンMJは、Sigray社製マイクロX線CT顕微鏡※1 “Apex XCT”を、2022年1月25日より発売します。“Apex XCT”は、大きな平板状のサンプルを、高空間分解能※2、高スループット※3で測定することが可能です。
近年、半導体需要の急増に伴い、故障解析や研究開発における非破壊分析のニーズが高まっています。一方で、半導体部品は、金属材料と高分子材料（樹脂材料）が積層構造になっており、これらの材料はX線吸収率が大きく異なるため、非破壊での故障解析や品質管理が困難でした。
この課題に対し“Apex XCT”は、特許出願中のSigray社独自の装置機構により、サブミクロン空間分解能においても、最大直径300㎜サイズまでのサンプルを切り出すことなく、約15分間※4で測定することが可能になりました。これにより、大きなサンプルにおける内部構造の可視化に貢献します。
今後もキヤノンMJは、X線分析のニーズの高まりに応え、X線CT装置市場の活性化だけでなく、今まで困難であったアプリケーションの分析にソリューションが提供できるよう、商品ラインアップを拡充し、分析ソリューション事業を拡大していきます。
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※1
X線CT顕微鏡（コンピューター断層撮影装置）は、半導体部品（パッケージ、プリント基板、ウエハー）、高機能材料（リチウムイオン電池、全固体電池、燃料電池）、ソフトマテリアル（炭素繊維、高分子材料、ゴム）などの内部構造の解析・検査に利用されています。
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※2
近い距離にある２つの物体を識別できる能力のこと。識別できる距離が短い程空間分解能が高い。
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※3
短時間で測定できる能力のこと。
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※4
シリコンウエハーの場合。
提供価格・発売予定日
- 製品名
- マイクロX線CT顕微鏡 “Apex XCT”
- 価格
- 2億円※
- 発売日
- 2022年1月25日
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標準仕様の場合。装置構成や為替レートにより価格は変動します。
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