Sigray社のナノX線CT装置“EclipseXRM-900^TM”を発売半導体などの非破壊分析において、最高空間分解能300nmを実現

キヤノンマーケティングジャパン株式会社（代表取締役社長：足立正親、以下キヤノンMJ）は、国内独占販売契約を締結しているSigray（シグレイ）社（Sigray, Inc.、本社：アメリカ合衆国カリフォルニア州コンコード市、CEO：Dr. Wenbing Yun）製で、最高空間分解能300nmを実現したナノX線CT装置“EclipseXRM-900^TM（エクリプス エックスアールエム キューヒャク）”を、2023年12月15日より発売します。

生成AIや自動運転、メタバースなど膨大なデータ処理に必要な演算能力を向上させるために、半導体の微細化が進められてきました。一方、昨今では微細化とともに、チップレット^※1と呼ばれる集積技術により性能の向上が図られています。しかし、チップレット技術を用いた半導体部品は、金属材料と高分子材料（樹脂材料）が3次元の積層構造になっており、これらの材料はX線吸収率が大きく異なるため、故障解析や研究開発における非破壊分析において精度高く測定することが困難な場合がありました。

“EclipseXRM-900TM”は、Sigray社が特許出願中である独自の装置機構により、最高空間分解能300nm実現しています。さらに、最大100mmΦまでのサンプルにおいてサブミクロン^※3レベルの空間分解能を達成しています。これにより、X線源までの距離を長く取らなくてはならない大きなサンプルやin situ^※4セルにおいても、高い解像度での撮像を可能にしています。積層化された半導体の内部構造などでも、非破壊で高コントラストな可視化を実現します。
また “EclipseXRM-900^TM”は、最新のX線源と検出システムにより高倍率対物レンズを用いることなく300nm の空間分解能で測定できるため、より効率のよいデータ取得を可能にします。

今後もキヤノンMJは、X線分析のニーズの高まりに応え、X線CT装置市場の活性化だけでなく、今まで困難であったアプリケーションの分析を実現するため、商品ラインアップを拡充し、分析ソリューション事業を拡大していきます。キヤノンＭＪは、今後5年間で“EclipseXRM-900TM”50台以上の販売を目指します。

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